催化燃燒法較適合于高濃度、小風量廢氣的凈化，在處理低濃度的廢氣時，由于要維持300～400℃的催化燃燒溫度，需借助于活性炭吸附等濃縮工藝來提高廢氣的燃燒熱值，目前催化燃燒是治理有機廢氣效率比較高的工藝。且得到環保部門的認可。

催化燃燒設備中CO設備可直接應用于中高濃度(1000mg/m3-8000mg/m3)的有機廢氣凈化；CO設備也可應用于活性炭吸附濃縮催化燃燒系統。CO設備是活性炭再生的熱量來源，是凈化有機廢氣的設備，同時也是確保有機廢氣凈化效果的，催化燃燒凈化裝置由主機、引風機及電控柜組成，凈化裝置主機由換熱器、催化床、電加熱元件、阻火阻塵器和防爆裝置等組成，阻火除塵器位于進氣管道上，防爆裝置設在主機的頂部。